مع تطور صناعة أشباه الموصلات في الصين، أصبح تطوير المكونات الرئيسية لمعدات العمليات عائقًا حاسمًا أمام تطوير المعدات. مع تزايد قوة الدعوة إلى توطين تكنولوجيا أشباه الموصلات المحلية، سيتم التغلب على المزيد والمزيد من تقنيات الاختناق في صناعة أشباه الموصلات. استنادًا إلى سنوات من الخبرة في صناعة أشباه الموصلات، قامت شركتنا بتطوير محرك سيرفو -عمود مجوف عالي السرعة- لامتصاص الرقائق في معدات طلاء أشباه الموصلات وتطويرها وتنظيفها. يتميز هذا المحرك بالتسارع العالي، ونطاق السرعة الواسع، والاستجابة العالية، وقد حظي بإشادة واسعة النطاق من قبل العملاء في الصناعة.
تطبيقات محرك سيرفو-العمود المجوف:
معدات التعريض والتطوير (الطلاء والتطوير): المعدات الرئيسية لعمليات الطباعة الحجرية الضوئية والتحكم في الطلاء والتعريض والتطوير.
معدات التنظيف والطلاء والتطوير وإزالة الأفلام.
مناسب لعمليات التنظيف بالشطف الجسدي وتنظيف الجسيمات وعمليات الرش.
مواصفات منتج المحرك المؤازر ذو العمود المجوف ومجالات التطبيق:
750 واط/1000 واط – 5000، 6000 دورة في الدقيقة
مجالات التطبيق (النماذج-المتطورة):
معدات أشباه الموصلات مقاس 8 بوصة و12 بوصة.
عمليات مثل الطلاء والتطوير والتنظيف والحفر.
الحد الأقصى للتسارع يمكن أن يصل إلى 50000 R/S² تسارع فوري.
يضمن التصميم الخاص لنهاية العمود أقل معامل تشغيل للحمل في نهاية العمود.
